実績・取扱製品 Achievement

大気圧プラズマ装置

ＵＶ応用／関連装置

大気圧プラズマ装置

真空を特に必要としない常圧プロセスであり低温連続処理が可能なため、常圧・高速処理による高スループットが期待できます。またリモート型ソースにより、ワークへのダメージがほとんどなく効率の良い、精密洗浄、改質が可能です。コストの高い希ガス（He.Arガス）を使用せず、N2.O2等をを使用するため低コストのシステムです。

エキシマ照射装置

ＵＶ応用／関連装置

エキシマ照射装置

非常にエネルギーの高い短波長紫外線を用いて高効率な製造材料の精密洗浄、改質を行います。さらに瞬時点灯、単一光ゆえの低温処理などの特長も持っています。

UVモニタリングシステム

ＵＶ応用／関連装置

UVモニタリングシステム

従来のＵＶ照度計、光量計では不可能だった常時監視を可能とします。生産工程におけるＵＶ照射量の管理、把握に役立つアイテムです。

段差寸法測定

検査装置

段差寸法測定

UV-LED装置

ＵＶ応用／関連装置

UV-LED装置

瞬時点灯、点灯レベルを調光可能。 熱線域の放射が極めて少なくワークへのダメージを極力軽減させることが出来ます。 光源寿命は長寿命となります。